中文名称 | 场发射扫描电子显微镜(配X射线能谱仪（EDS）,电子背散射衍射仪（EBSD） | 所在单位 | 省部共建国家重点实验室 |
英文名称 | Field emission scanning electron microscope ( FESEM) | 所在实验室 | 微观中心 |
仪器型号 | Nova NanoSEM400 | 所在位置 | 教六楼 |
生产公司 | 美国FEI公司 | 仪器负责人 | 范丽霞 |
仪器功能 | 金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析；微区成分分析；微区取向、微观织构分析，晶体结构分析，物相分析等。 | 电 话 | 027-68862042 |
性能指标 | 电镜分辨率： 高真空模式：1.0nm (15KV) ；低真空模式：1.5nm (10KV)； 电镜加速电压：200V～30kV；样品台移动范围：X=Y=100mm，Z=60mm； 样品台：五轴驱动，精度100nm。 能谱仪：Penta FET X-3 Si(Li)探测器；能量分辨率：129eV(MnKα) 电子背散射衍射仪：EBSD花样分辨率达1344*1024像素 , 空间分辨率(Al,20KV):0.5μｍ | 传 真 | |
添置时间 | 2007年10月 | 运行状态 | 正常 |
