场发射扫描电子显微镜

中文名称

场发射扫描电子显微镜(配X射线能谱仪（EDS）,电子背散射衍射仪（EBSD）

所在单位

省部共建国家重点实验室

英文名称

Field emission scanning electron microscope ( FESEM)

所在实验室

微观中心

仪器型号

Nova NanoSEM400

所在位置

教六楼

生产公司

美国FEI公司

仪器负责人

范丽霞

仪器功能

金属、非金属、生物等各种样品的纳米尺度的形貌分析；微区成分分析；微区取向、微观织构分析，晶体结构分析，物相分析等。

电 话

027-68862042

性能指标

电镜分辨率： 高真空模式：1.0nm (15KV) ；低真空模式：1.5nm (10KV)； 电镜加速电压：200V～30kV；样品台移动范围：X=Y=100mm，Z=60mm； 样品台：五轴驱动，精度100nm。

能谱仪：Penta FET X-3 Si(Li)探测器；能量分辨率：129eV(MnKα)

元素检测范围：Be4－U92,

电子背散射衍射仪：EBSD花样分辨率达1344*1024像素 ,

空间分辨率(Al,20KV):0.5μｍ

传 真

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添置时间

2007年10月

运行状态

正常